| Найдено документов - 1 | Статьи из сборника: Сорокин, П. А. Сочинения. Заметки социолога = Заметки социолога : социол. публицистика / П. А. Сорокин; отв. ред. А. О. Бороноев. - Санкт-Петербург : Алетейя, 2000. - 315 с. - (Российские социоло... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Книга
Смирнов, С. В.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие / С. В. Смирнов. - Электрон. дан. (1 файл). - Томск : Томский гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники, 2010. - 115 с. - URL: http://www.iprbookshop.ru/13944.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие / С. В. Смирнов. - Электрон. дан. (1 файл). - Томск : Томский гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники, 2010. - 115 с. - URL: http://www.iprbookshop.ru/13944.
Аннотация: Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и 210600 "Нанотехнология".
ББК: 32.85
Рубрики: Техника, Радиоэлектроника, Электроника
Ключевые слова: технологический процесс, наногетероструктура, интегральная схема
Ссылка на ресурс: http://www.iprbookshop.ru/13944