Мухуров, Н. И.
Электромеханические микроустройства : учебное пособие / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов. - Электрон. дан. (1 файл). - Минск : Белорусская наука, 2012. - 258 с. - URL: http://www.iprbookshop.ru/11516.

Аннотация: Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов.

ББК: 32.85

URL биб.описания: http://lib.chgpu.edu.ru/MegaPro/UserEntry?Action=FindDocs&ids=99848&idb=mega1