Хорин, И. А.
Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / И. А. Хорин. - Электрон. дан. (1 файл). - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 278 c. - URL: http://www.iprbookshop.ru/73345.html.

Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

ББК: 32.85

URL биб.описания: http://lib.chgpu.edu.ru/MegaPro/UserEntry?Action=FindDocs&ids=131535&idb=mega1