| Найдено документов - 1 | Выборка документов | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Книга
Сысоев, И. А.
Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону / И. А. Сысоев, Л. С. Лунин. - Электрон. дан. (1 файл). - Ставрополь : СКФУ, 2015. - 97 c. - URL: http://www.iprbookshop.ru/62929.html.
Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону / И. А. Сысоев, Л. С. Лунин. - Электрон. дан. (1 файл). - Ставрополь : СКФУ, 2015. - 97 c. - URL: http://www.iprbookshop.ru/62929.html.
Аннотация: В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV. Обсуждаются возможности получения различных микро- и наноструктур соединений АIIIВV с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур. Монография адресована магистрам, аспирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и наноструктурой.
ББК: 22.36
Рубрики: Естественные науки, Физика, Молекулярная физика
Ключевые слова: градиентная эпитаксия, микроструктура, наноструктура, твердый раствор, газовая фаза, тонкая зона, свойство гетероструктуры, многокомпонентная гетероструктура, термодинамический анализ, массоперенос
Ссылка на ресурс: http://www.iprbookshop.ru/62929.html